紫外臭氧清洗機(jī)是一種簡單，經(jīng)濟(jì)，快速高效的材料表面清洗設(shè)備，能快速去除大多數(shù)無機(jī)基材（比如石英，硅片，金，鎳，鋁，砷化鎵，氧化鋁等）上的有機(jī)污染物。它常用于掃描探測顯微鏡的樣品應(yīng)用，該設(shè)備能用于清洗原子力顯微鏡探針，掃描探針顯微鏡標(biāo)準(zhǔn)和表面上常規(guī)的油漬層和殘留的無機(jī)材料，也能用來改變物體表面的疏水性，有助于部件和表面的化學(xué)改性，經(jīng)過氧化和硬化處理的探針有利于在掃描過程中保持探針的幾何形狀，削尖的探針有利于提高側(cè)向分辨率。
臭氧清洗機(jī)設(shè)備已經(jīng)用于納米技術(shù)，化學(xué)，生物學(xué)，光學(xué)，電子學(xué)，半導(dǎo)體和其他全球范圍內(nèi)的科學(xué)實(shí)驗(yàn)室。
紫外臭氧清洗機(jī)的特點(diǎn)：
1、UVO基礎(chǔ)型采用可編程數(shù)字控制器，設(shè)置操作簡單方便，四鍵操作控制。UVOP和UVOT系列采用5寸彩色觸摸屏設(shè)置顯示計(jì)時(shí)時(shí)間及加熱溫度。
2、自動(dòng)補(bǔ)償功能，自動(dòng)恒定光強(qiáng)光密度，不會(huì)因?yàn)榈蛪汗療衾匣鈴?qiáng)衰減影響清洗效果。
3、數(shù)字倒計(jì)時(shí)顯示清洗時(shí)間，1-999分鐘之間可自行設(shè)置清洗時(shí)間。
4、可隨時(shí)手動(dòng)中斷處理過程。
5、自動(dòng)記錄之前清洗參數(shù)設(shè)置。
6、樣品臺(tái)可控溫（可選），控溫范圍RT-260℃，控溫精度0.1℃。
7、頂置下壓式鉸鏈開關(guān)蓋方式，操作簡單方便。
8、上置式樣品臺(tái)設(shè)計(jì)，360度自由放置樣品，操作方便。
9、樣品臺(tái)高度可調(diào)，通過調(diào)節(jié)燈與樣品之間的間距，可以合理定位樣品高度和位置，并可鎖定。
10、UV石英低壓汞蒸汽格柵燈，燈管壽命大約為8000小時(shí)。
11、高強(qiáng)度UV燈源，波長185nm和254nm。
12、UV反射罩（長x寬）比UV格柵燈大2.5cm，比如規(guī)格為13x13cm格柵燈反射罩尺寸大于15×15cm。
13、雙重安全保護(hù)，當(dāng)清洗腔打開時(shí)，系統(tǒng)安全鎖會(huì)關(guān)掉UV燈，并有燈光通斷提示。
14、帶進(jìn)&出氣口雙氣路設(shè)計(jì)，可接入氧氣或者臭氧，增加臭氧產(chǎn)量。
15、UVO5可選外置臭氧中和器，UVO9、UVO12系列可選外置或者內(nèi)置臭氧中和器，用于臭氧清除。
16、可根據(jù)客戶要求定制鋁或石英材料真空反應(yīng)腔。
